Groupe de Physique des Matériaux - UMR CNRS 6634

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Microscopie Electronique à Balayage

par LABGPM - publié le , mis à jour le

contact : Emmanuel Cadel

Les deux microscopes électroniques à balayage du laboratoire, le ZEISS LEO 1530 XB et le ZEISS NIVISION 40 SMT, sont des microscopes dédiés à l’observation et à la préparation des échantillons pour la sonde atomique et la microscopie électronique à transmission (annular milling, lift out, ...).
Ils sont de deux générations successives mais ont la même famille d’équipements de base : canon FEG, colonne FIB, GIS, micromanipulation.

MEB - NVISION 40 ZEISS SMT (cross beam)

 

scanning electron microscope Zeiss NVision 40


CARACTERISTIQUES

  • STEM
  • Evactron
  • Flood GUN
  • Détecteur ions secondaires
  • Micromanipulateur Kleindiek MM3A avec option ROTIP
  • Cabinet GIS avec Pt, W, SiOx, H2O airlock
  • Colonne FIB Gallium SEIKO SII
  • Système de compensation champ magnétique GATAN FCS 12
  • Caméra EBSD Oxford Instruments sensible pour acquisition 2D et 3D.

 
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Caractéristiques complètes

 

 

 

MEB - LEO 1530 XB (cross beam)


scanning electron microscope Zeiss 1540

 


CARACTERISTIQUES

  • Colonne FIB Orsay Physics
  • GIS Orsay Physics Pt, W, SiOx airlock Orsay Physics
  • Micromanipulateur Kleindiek MM3A avec option pinces
  • Détecteur QBSD
  • Détecteur EDS Oxford Instruments, INCA smartmap (1D, Carto)

www.leo-em.com