Groupe de Physique des Matériaux - UMR CNRS 6634

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Multicouches

par LABGPM - publié le , mis à jour le

Evaporateur pour dépôts de couches minces
et multicouches métalliques.

Evaporateur pour dépôts de couches minces et multicouches métalliques

 

Caractéristiques :

- Pression : 8.10-10 Torr

- Température
 : système de chauffage des substrats jusqu’à 800°C

- Equipement :
2 cellules d’évaporation, porte-substrats rotatif, possibilité
de dépôts sur substrats plans et sur pointes (pour
des analyses en sonde atomique).