Groupe de Physique des Matériaux - UMR CNRS 6634

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Enceinte à Traitements Thermochimiques

par LABGPM - publié le , mis à jour le

Réalisation de traitements d’oxydation, de recuit
sous atmosphère contrôlée, nettoyage de surface
et/ou implantation par plasma DC, pour analyse en sonde et par des techniques
d’extrême surface.

Enceinte à Traitements Thermochimiques   Enceinte à Traitements Thermochimiques

Caractéristiques techniques
 :

- Echantillons :
massif sous forme de plaque de 1cm2 et/ou de pointe pour l’analyse en
sonde atomique
- Température : de l’ambiante à
850°C
- Gaz : H2, N2, O2, Ar, air reconstitué,
taux d’humidité variable
- Atmosphère statique ou sous balayage
- Pression totale : de la pression atmosphérique
à 10-6 torr

 

Contact : Raphaelle
Danoix