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Thomas PHILIPPE

Précipitation du bore dans le silicium : Expérience, Méthodologie et Modélisation.

par LABGPM - publié le , mis à jour le

4 Octobre 2011

Plusieurs phénomènes modifient la redistribution du bore dans le silicium fortement implanté. Pendant le recuit thermique d’activation, les interactions entre les dopants et les défauts d’implantations viennent affecter et complexifier la redistribution du bore. A cela peut venir s’ajouter des phénomènes de précipitation dans les régions sursaturées en dopants. Ces interactions peuvent conduire à la désactivation partielle des dopants. Cette thèse traite en particulier de la précipitation ou mise amas du bore dans le silicium fortement implanté. Ces questions sont étudiées en sonde atomique tomographique. Des outils statistiques sont développés pour caractériser la mise en amas. Les théories non classiques de germination sont explorées pour comprendre la formation de germes dilués. Enfin, un modèle couplant diffusion et germination classique est proposé pour prédire l’allure des profils de concentration en dopant après recuit thermique.
Précipitation du bore dans le silicium : Expérience, Méthodologie et Modélisation