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Manuel Roussel

Étude et modélisation de la précipitation de particules de silicium dans des couches de silice nanométriques

par LABGPM - publié le , mis à jour le

Mercredi 12 décembre 2012

Les propriétés optiques et électriques de nanoparticules de silicium enrobées de silice ont été au centre de nombreuses études ces vingt dernières années en raison de leurs potentielles applications pour les futures générations de cellules photovoltaïques, de mémoires flash et d’amplificateurs optiques. Ces matériaux présentent des propriétés d’émission lumineuse et de piégeage de charges qui dépendent fortement de leurs caractéristiques structurales. La distribution en taille des nanoparticules, leur densité volumique, leur interface ainsi que la qualité de l’oxyde sont des paramètres clés qui gouvernent la longueur d’onde des photons émis, la quantité de charges piégées... L’objectif de cette thèse vise à mieux comprendre la formation des nanoparticules de silicium à l’échelle atomique en fonction des paramètres d’élaboration (excès de Si, épaisseur des couches actives, température et temps de recuit, ...). Une évolution du coefficient de diffusion du Si dans la silice en fonction de l’excès de silicium est mise en évidence. Parallèlement, un changement drastique du mécanisme de décomposition en fonction de l’épaisseur des couches a été observé, pour passer parfois d’un mécanisme de germination / croissance à un processus de décomposition spinodale. De plus, des simulations Monte Carlo ont été mises en place afin d’étudier la décomposition spinodale confinée dans une couche d’épaisseur nanométrique.
Étude et modélisation de la précipitation de particules de silicium dans des couches de silice nanométriques