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Diffusion réactive, précipitation et redistribution de dopants à l’échelle nanométrique

Séminaire-Café - Vendredi 31 Mai 2013

par LABGPM - publié le

Diffusion réactive, précipitation et redistribution de dopants à l’échelle nanométrique
Vendredi 31 Mai Février 2013 à 10h en Salle de Conférences du GPM

Ivan Blum

Diffusion réactive, précipitation et redistribution de dopants à l’échelle nanométrique

Dans un premier temps, je présenterai plusieurs résultats marquants de ma thèse qui porte sur la diffusion et redistribution des dopants et du platine dans des structures siliciures sur silicium (à l’IM2NP – Marseille). Les siliciures de nickel sont utilisés en microélectronique pour réduire les résistances de contact entre les interconnexions métalliques et le silicium des composants. Lors de la formation des siliciures par diffusion réactive, on observe une redistribution des dopants et du platine présents initialement dans le silicium du substrat et dans le film métallique respectivement. Pour mieux comprendre cette redistribution, nous avons étudié d’une part la diffusion d’éléments implantés dans des couches de siliciures préfabriquées [1], et d’autre part leur redistribution pendant la formation du siliciure. Des analyses par spectrométrie de masse d’ions secondaires et par sonde atomique nous ont alors permis de mieux comprendre le rôle de la solubilité et de la diffusion et ségrégation aux défauts étendus dans la redistribution.

Dans un deuxième temps, je présenterai des résultats de post-doctorat, qui portent sur l’analyse de matériaux thermoélectriques nanostructurés à base de PbTe par sonde atomique tomographique (à l’Université de Northwestern – Evanston). Nous avons notamment analysé l’effet de la ségrégation des dopants sur la morphologie de précipités ou encore sur les propriétés thermoélectriques du matériau [2].

[1] I. Blum, A. Portavoce, D. Mangelinck, R. Daineche, K. Hoummada, J.L. Lábár, V. Carron, C. Perrin, Journal of Applied Physics, 104.11 (2008) 114312 doi:10.1063/1.3035836

[2] K. Biswas, J. He, I.D. Blum, C-I Wu, T.P. Hogan, D.N. Seidman, V.P. Dravid, M.G. Kanatzidis, Nature 489 (2012) 414–418 doi:10.1038/nature11439