Groupe de Physique des Matériaux - UMR CNRS 6634

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Instrumentation Scientifique (ERIS)

Depuis sa création en 1999, l’ERIS développe les générations successives de Sonde Atomique Tomographique (SAT). Une étape très importante fut le lancement du projet de SAT assistée par impulsions laser en 2004. L’objectif premier était d’ouvrir la technique au vaste de domaine de la microélectronique et à l’analyse des matériaux non conducteurs de l’électricité (Oxydes, Semi-Conducteurs, siliciures…). Ce défit était commun à toute la communauté internationale depuis une vingtaine d’années. Nous avons démontré la faisabilité de la technique en concevant un nouvel instrument appelé LaWaTAP.


Le développement de la SAT laser à ouvert des voies de recherches nouvelles et a nécessité le montage de projets importants. En premier lieu, il a permis d’ouvrir un axe de recherche nouveau au GPM et la création d’une équipe de recherche en microélectronique (ERMEL). Une activité importante de l’équipe est de pousser la SAT à ses limites et nos recherches se déroulent dans le cadre de nombreux projets (ANR, GRR CPER, PICS, Contrats de transfert), avec le CEA, ST microélectronics, IMEC, et des Universités ou des écoles (Naples, Goettingen, Muenster, Ecole centrale, PARIS XI, Toulouse, Marseille, Grenoble..) dont l’objectif est dédié à l’étude de la physique de l’instrument à des fins applicatives. Nous avons ainsi accueilli des Scientifiques étrangers de tous premiers rangs pour collaborer sur ces thèmes (Postes Rouge CNRS, Echange de chercheurs internationaux….).

Les retombées les plus importantes du projet de sonde laser sont l’ouverture de la technique à l’étude de phénomènes physiques ultra-brefs qui couvrent un très large domaine de la physique comme l’ablation laser ou les techniques de champs proches telles que le SNOM ou le STM, ou encore l’optique non linéaire. Nous avons pu répondre à des questions ouvertes dans tous ces domaines à travers des études fondamentales que la SAT laser permet de conduire. La quantité, mais aussi la qualité des publications de l’ERIS a crû de façon importante et nous avons donné une douzaine de conférences invitées dans des congrès internationaux sur ces diverses thématiques ces quatre dernières années. Le GPM est aujourd’hui reconnu comme un laboratoire de tout premier plan dans le domaine de l’interaction laser matière en régime ultra-bref.

Cette reconnaissance nous a permis de mettre en place sur le technopôle une plateforme interdisciplinaire regroupant les opticiens du CORIA, le GPM et l’IRSEEM. L’idée est de mettre en commun des compétences diverses mais complémentaires pour avancer dans les sciences fondamentales et appliquées. Il s’agit en outre d’afficher clairement ces compétences de haut niveau et d’offrir aux partenaires académiques et industriels l’expertise de ces équipes. Cette plateforme MIST (microélectronique, Instrumentation scientifique du Technopôle) se monte dans le cadre du GRR électronique du CPER 2007-2013. Nous avons le soutien du CNRS et celui de la région pour concevoir un banc multi-instrumentation versatile dont le cœur est une chaîne laser amplifiée de tout premier niveau et une chambre ultravide polyvalente. Plusieurs projets de recherche sont en cours (Thèse CARNOT, Post-Doc, Projet Européen) qui mêlent les différents partenaires.

Ces activités de recherches fondamentales sont valorisées à travers le transfert de la SAT vers la société CAMECA.

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